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日立分析仪器(上海)有限公司

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超高分辨场发射扫描电子显微镜Regulus系列
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品牌: 日立/Hitachi
单价: 面议
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发货期限: 自买家付款之日起 3 天内发货
有效期至: 长期有效
最后更新: 2019-01-15 09:20
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详细信息
  • 型号:Regulus
  • 分辨率:0.7-0.8nm
  • 放大倍率:200万
  • 加速电压(KV):
  • 样品台尺寸(mm ):以实物为准
  • 探测电流:
项目 Regulus 8100 Regulus 8220 Regulus 8230 Regulus 8240
二次电子分辨率 0.7 nm
(加速电压15 kV)
0.8 nm
(着陆电压1 kV)*3
0.6 nm(加速电压 15 kV)
0.7 nm(着陆电压 1 kV)*3
着陆电压 0.1~2 kV 0.01~20 kV
放大倍率 20~1,000,000倍*4 20~2,000,000倍*4
样品台 样品台控制 3轴马达台(可选5轴马达台) 5轴马达驱动
移动范围 X 0~50 mm 0~50 mm 0~110 mm 0~110 mm
Y 0~50 mm 0~50 mm 0~110 mm 0~80 mm
R 360°
T -5~70°
Z 1.5~30 mm 1.5~40 mm
再现性 - - - ±0.5 µm以下含±0.5 µm
*3
减速模式下观察
*4
以127 mm × 95 mm底片为基准的倍率




 现有机型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合,衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。
 
"Regulus系列"继承了现有机型的观察和分析性能,配备SU8200系列的低噪音冷场发射电子枪*1,可以获得高稳定的束流。
 
通过优化电子光学系统,Regulus8240/8230/8220在1 kV条件下分辨率提高到0.7 nm,Regulus8100的分辨率提高到0.8 nm。
 
此外,为充分发挥超高分辨的能力,放大倍率也从过去的100万倍提升到200万倍*1。
Regulus8240/8230/8220/8100还完善了用户支持功能,通过此功能用户更容易理解各种复杂信号的检测原理,帮助用户充分发挥仪器的最佳性能。
 
*1仅限Regulus8240/8230/8220

项目 Regulus 8100 Regulus 8220 Regulus 8230 Regulus 8240
二次电子分辨率 0.7 nm
(加速电压15 kV)
0.8 nm
(着陆电压1 kV)*3
0.6 nm(加速电压 15 kV)
0.7 nm(着陆电压 1 kV)*3
着陆电压 0.1~2 kV 0.01~20 kV
放大倍率 20~1,000,000倍*4 20~2,000,000倍*4
样品台 样品台控制 3轴马达台(可选5轴马达台) 5轴马达驱动
移动范围 X 0~50 mm 0~50 mm 0~110 mm 0~110 mm
Y 0~50 mm 0~50 mm 0~110 mm 0~80 mm
R 360°
T -5~70°
Z 1.5~30 mm 1.5~40 mm
再现性 - - - ±0.5 µm以下含±0.5 µm
*3
减速模式下观察
*4
以127 mm × 95 mm底片为基准的倍率

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