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| 项目 | 内容 | |
|---|---|---|
| 分解能*3 | 4.0 nm @ 20 kV （SE：高真空模式） 15.0 nm @ 1 kV （SE：高真空模式） 5.0 nm @ 20 kV （BSE：低真空模式） |
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| 加速电压 | 0.3 kV ～ 20 kV | |
| 放大倍率 | 6× ～ 300,000× （底片倍率） 16× ～ 800,000× （显示倍率） |
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| 低真空模式 | 真空范围：6 ～ 100 Pa | |
| 电子枪 | 预对中钨灯丝 | |
| 样品台 | 3-轴自动马达台 X：0 ～ 40 mm, Y：0 ～ 50 mm, Z：5 ～ 15 mm R：360°, T：-15° ～ ＋90° |
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| 最大样品尺寸 | 直径80 mm | |
| 最大样品高度 | 40 mm | |
| 尺寸 | 主机：450（W） x 640（D） x 670（H） mm 供电单元：450（W） x 640（D） x 450（H） mm |
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| 探测器选配 |
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- *3
- 主机与供电单元组合使用
- *
- PC、桌子、机械泵、显示器需要本地采购
紧凑型设计，分辨率为4 nm*1
通过高灵敏度二次电子探测器，背散射探测器，低真空探测器（UVD*2），实现低加速电压/低真空下高质量图像观察
操作简捷，即使新手也能拍出高质量的图片
新开发的导航功能「SEM MAP」，便于快速锁定视野
大窗口（30 mm2）SDD能谱系统，便于快速分析元素成分*2
*1设置在桌面时，分离主机和电源箱*2选配