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1. 通过自动定位功能提高操作性
测量样品时，以往需花费约10秒的样品对焦，现在3秒内即可完成，大大提高样品定位的操作性。
2. 微区膜厚测量精度提高
通过缩小与样品间的距离等，致使在微小准直器（0.1、0.2mm）下，也能够大幅度提高膜厚测量的精度。
3. 多达5层的多镀层测量
使用薄膜FP法软件，即使没有厚度标准片也可进行多达5层10元素的多镀层测量。
4. 广域观察系统（选配）
可从最大250×200mm的样品整体图像指定测量位置。
5. 对应大型印刷线路板（选配）
可对600×600mm的大型印刷线路板进行测量。
6. 低价位
与以往机型相比，既提高了功能性又降低20%以上的价格。
| 型号 | FT110A |
|---|---|
| 测量元素 | 原子序号Ti（22）～Bi（83） |
| X射线源 | 空冷式小型X射线管 管电压：50（可变更）kV 管电流：10～1000µA |
| 检测器 | 比例计数管 |
| 准直器 | ○型： 0.1 mmΦ、0.2 mmΦ 他2種 |
| 样品观察 | CCD摄像头 |
| 对焦 | 激光对焦（自动） |
| 滤波器 | 一次滤波器（自动切换） |
| 样品区域 | [固定]535×530 mm [电动] 260×210 mm (移动量X:250 mm, Y:200 mm) |
| 测量软件 | 薄膜FP法（最大2层、10种元素）、检量线法 |
| 安全功能 | 样品室门联锁、样品冲突防止功能、仪器诊断功能 |